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ざいりょうちゅうしん
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MATERIALS CENTER

材料センター

NATERIAL

CORESIC® RBS H

CORESIC® RBS H鋳込み成形の高純度反応焼結炭化ケイ素セラミックス

 

材料特徴

異なる粒径の高純度炭化ケイ素粉体、と高純度炭素源を用いて混合します。射出成形によって高純度のブランク体を製造します。そして5Nの高純度多結晶ケイ素は真空において高温下でシリコン含浸の反応焼結を行います。焼結温度は1600℃~1700℃以上です。高純度ケイ素の蒸気は毛細管の作用によってブランク体の気孔に浸透します。ブランク体中のCとの間に化学反応を起こします。その場で生成したβ-SiCとブランク体中にあるSiC粒子と結合します。それによって反応焼結の炭化ケイ素セラミックス材料を形成します。

 

 

性能特徴

  • 高強度
  • CORESIC® RB H炭化ケイ素セラミックスは石英の3倍の優れた曲げ強度を持ちます。加持力がより高いです。
  • 耐高温
  • CORESIC® RB H炭化ケイ素セラミックスの最高使用温度は1350℃です。その温度においても長期使用が可能です。部品やアセンブリの熱変形や軟化を防止することができます。石英部品の1070℃の最高使用温度よりも高いです。
  • 抗酸化性
  • 優れた抗酸化性によってCORESIC® RB H炭化ケイ素セラミックス製のカンチレバーパドル、カンチレバー、ボートブラケット、ボートなどの部品は粒子を生成せず、電池シート製品の品質と設備部品の寿命に役立ちます。
  • 化学的安定性
  • CORESIC® RB H SiC はエッチング洗浄中において、極めて高い化学的安定性を有します。HFまたはHF+HNO3の浸食を防止することができます。CORESIC®RBS Hのエッチング率は石英に比べて1/1000未満です。酸化洗浄後の炭化ケイ素セラミックス部品の表面に変化はありません。エッチング装置のシステムに粒子等の不純物をもたらすことはありません。炭化ケイ素部品の寿命を大幅に延長することができます。シリコンウェハの自動伝送システムの観点から見て、シリコンウェハ槽は洗浄中に精度の維持を保つことができます。
  • CORESIC® RB H SiCは窒化ケイ素、多結晶ケイ素の熱膨張係数に近いです。

 

性能、及び応用

CORESIC® RB Hは光起電力電池シート熱工とめっき装置のために開発された高強度の炭化ケイ素材料です。カンチレバーパドル、ボートブラケット、ボート、炉管などの複雑な構造の製品の開発に適しています。炭化ケイ素の含有量が高く（>85%）、高強度、耐強酸強アルカリの腐食、良好な抗酸化性を有します。この材料は光起電力、半導体分野に広く使用されています。石英材料応用の代替にもできます。

 

 

材料性能表