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CORESIC® 炭化ケイ素セラミックス材料は優れた力学性能を有します。例えば高強度、高硬度、高弾性率、耐プラズマ腐食など。特に光電照明エピタキシャルシート製造用のICPエッチングプロセス、PVDプロセス、RTPプロセス、CMPプロセスにおけるプレートなどの精密セラミックス構造部品に適応しています。

応用シーン

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