炭化ケイ素製アーム
CORESIC® SP炭化ケイ素製のアームは等静圧成形、高温焼結の生産プロセスを採用します。顧客の設計図に基づき、外形寸法、厚さ、形状が精密加工できます。
応用
- 半導体生産の各プロセスにおけるウエハの輸送に用いられます。
特徴
- 正確な寸法と熱安定性を有します。
- 高剛性と熱均一性を有します。長期使用においても曲げ変形がしにくいです。
- 表面の滑らかさ、耐摩耗性に優れます。粒子汚染が発生しないようなウエハの安全処理ができます
- CORESIC® SP炭化ケイ素の電気抵抗率は106-108Ω、無磁性のため、抗ESDの規範に満たしています。ウエハ表面に静電の集まりに防止効果があります。
- 良好な熱伝導性、低膨張係数。
規格
- 顧客の設計図に基づき、形状と寸法の異なるアーム加工が可能です。
